※ 基本條件：具有「工廠登記許可證」之製造業者。
1. 特定製程案件：符合特定製程及其關聯行業的製造業者(即:屬異常溫度作業、粉塵作業、有毒氣體作業、有機溶劑作業、化學處理、非自動化作業及其他特定製程之行業，並經中央目的事業主管機關或自由貿易港區管理機關認定符合規定者)。

2.國內新增投資案件： 符合特定製程及其關聯行業的製造業者，並於102年3月13日至103年12月31日期間內新設立廠場，且取得工廠設立登記證明文件。

3.台商回台新增投資案件：符合赴海外地區投資2年以上，特定製程及其關聯行業，並經經濟部工業局核發台商資格認定文件後3年內完成新設立廠場，取得工廠設立登記證明文件，且其投資金額與預估聘僱國內勞工人數達規定下列條件之一：
條件一. 高科技產業，投資金額達新台幣5億元以上，或其他產業投資金額達新台幣1億元以上。
條件二. 新增投資計劃書預估工廠設立登記證明核發之日起，1年內聘僱國內勞工人數達100人以上。